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金属陶瓷涂层复合金属介质Cr的性能研究
文献摘要：
为使金属陶瓷硬质涂层具备高硬度的同时兼具"软"涂层的良好自润滑性能,以三元金属陶瓷涂层TiAlN为对象,研究不同含量金属介质Cr掺杂对涂层微观结构及力学性能的影响,并制备金属陶瓷复合金属相结构的涂层.采用阴极电弧加辉光放电技术,通过控制Cr靶电流在SUS304不锈钢及单Si晶片上制备TiAlN复合不同比例含量Me-Cr的涂层,借助SEM观察涂层的微观组织形貌,采用EDS表征涂层元素成分,采用XRD分析涂层物相构成.采用二维轮廓仪及三维形貌仪表征涂层的表面粗糙度及表面形貌.采用维氏硬度计测试涂层与基体的复合硬度,采用纳米划痕仪表征涂层的摩擦系数.结果表明,Me-Cr掺杂对于涂层的微观结构和力学性能均有显著影响.Me-Cr的掺杂会使得涂层表面的针孔与液滴增多,粗糙度显著降低,最低可达31.2 nm;物相方面,涂层中产生以Cr-Ti为主的合金相;硬度有一定程度的提高,最高可达1035.2 HV;摩擦系数介于0.2～0.3.
文献关键词：
阴极电弧;复合涂层;Cr;硬度;摩擦系数
中图分类号：
作者姓名：
张而耕;王海洋;陈强;周琼;黄彪;梁丹丹;张帆;孙思叡;孙国庆
作者机构：
上海应用技术大学 上海物理气相沉积(PVD)超硬涂层及装备工程技术研究中心,上海201418;上海名古屋精密工具股份有限公司,上海201800
文献出处：
引用格式：
[1]张而耕;王海洋;陈强;周琼;黄彪;梁丹丹;张帆;孙思叡;孙国庆-.金属陶瓷涂层复合金属介质Cr的性能研究)[J].热加工工艺,2022(24):87-91
A类：
B类：
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AB值：
0.348181
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