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Ar-N2混合气体中N2含量对磁控溅射Ag膜性能的影响
文献摘要：
以不同N2含量Ar-N2混合气体为溅射气体在聚对苯二甲酸乙二醇酯(PET)基膜上磁控溅射制备Ag膜,研究了N2含量对Ag膜动态沉积率、耐盐雾腐蚀性能和反射率的影响.结果表明:随着N2含量增加,制备的Ag膜的晶粒尺寸逐渐减小,在盐雾中的腐蚀速率逐渐降低,动态沉积率和反射率均逐渐降低;综合生产效率和各项性能,优选N2体积分数为20％ 的Ar-N2混合气体溅射Ag膜工艺,其动态沉积率为纯Ar制备Ag膜的95％,反射率也由纯Ar制备Ag膜的93.8％ 降低至93.4％,在盐雾中的腐蚀速率降为纯Ar制备Ag膜的22％ 左右.
文献关键词：
Ag膜;磁控溅射;Ar-N2混合气体;耐盐雾腐蚀性能
中图分类号：
作者姓名：
赵锦玲;翟怀伦;颜毓雷;尹铮杰;徐静涛;王明辉
作者机构：
宁波瑞凌新能源材料研究院有限公司,宁波315000;宁波瑞凌新能源科技有限公司,宁波 315000
文献出处：
引用格式：
[1]赵锦玲;翟怀伦;颜毓雷;尹铮杰;徐静涛;王明辉-.Ar-N2混合气体中N2含量对磁控溅射Ag膜性能的影响)[J].腐蚀与防护,2022(08):51-55
A类：
B类：
Ar,N2,混合气体,磁控溅射,Ag,膜性能,聚对苯二甲酸乙二醇酯,PET,基膜,动态沉积,沉积率,耐盐雾腐蚀性能,反射率,晶粒尺寸,腐蚀速率,膜工艺,降为
AB值：
0.18762
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