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"集成电路材料关键质量参数的检测体系研究与应用"项目获2022年度上海市质量协会质量技术奖
文献摘要：
2022年9月27日,2022年度上海市质量协会质量技术奖获奖名单公布.上海市计量测试技术研究院 "集成电路材料关键质量参数的检测体系研究与应用"项目荣获综合类质量创新成果优秀奖.
上海市质量协会质量技术奖围绕重点产业、重点领域质量提升工程以及质量技术基础建设等方向,奖励上海市企事业单位在质量技术创新领域做出突出贡献的项目成果和个人.
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[1]-."集成电路材料关键质量参数的检测体系研究与应用"项目获2022年度上海市质量协会质量技术奖)[J].上海计量测试,2022(05):前插1
A类：
B类：
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AB值：
0.380623
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