典型文献
微波退火下钛调制镍与P型锗的固相反应
文献摘要：
以P型单晶锗为衬底,研究了镍/钛/锗系统在微波退火中的反应.通过薄层电阻测试(Rsh),原子力显微镜(AFM),拉曼光谱(Raman),截面透射电子显微镜(TEM)和能量色散X射线光谱(EDX)等表征手段对退火后形成的镍锗化物的形貌和界面微观结构进行了表征.结果表明,与常规快速热退火相比,通过微波退火特殊的加热机制和钛插入层的调制作用,可以在250℃的低温条件下在P型锗(100)衬底上制备具有均匀光滑界面的镍锗化物薄膜.微波退火可以在锗化过程中代替常规快速热退火.
文献关键词：
微波退火;镍锗化物;钛中间层
中图分类号：
作者姓名：
杨俊;平云霞;刘伟;张波
作者机构：
上海工程技术大学数理与统计学院,上海 201620;中国科学院上海微系统与信息技术研究所/信息功能材料国家重点实验室,上海 200050
文献出处：
引用格式：
[1]杨俊;平云霞;刘伟;张波-.微波退火下钛调制镍与P型锗的固相反应)[J].材料科学与工程学报,2022(05):756-761
A类：
Rsh,镍锗化物,钛中间层
B类：
微波退火,固相反应,单晶锗,衬底,薄层,电阻测试,原子力显微镜,AFM,拉曼光谱,Raman,透射电子显微镜,TEM,能量色散,EDX,表征手段,界面微观结构,快速热退火,热机,插入层,低温条件,下在,匀光,中代
AB值：
0.318432
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