典型文献
利用先进微加工技术和薄膜材料实现电可调射频器件
文献摘要：
多功能、多频段、高性价比、小型化的可重构射频器件在现代无线通信系统有着广泛应用,在未来也有极大的需求.本文介绍了基于先进薄膜材料和微加工技术设计制备的多频段、可重构射频器件.对表面微加工和体微加工技术等制造工艺的射频应用,特别是在射频微机电系统和电可调射频器件中的应用着重进行了探讨.此外,本文还综述了利用铁电和铁磁薄膜材料集成设计制备的连续可调、小型化、高性能射频器件,探讨了利用纳米图案结构工艺来增强铁磁薄膜的高频性能(例如:铁磁共振频率和损耗)的设计方法和策略,并示范了基于此实现的全电学可调的射频器件.
文献关键词：
可调谐射频器件;体微加工技术;表面微加工技术;薄膜材料
中图分类号：
作者姓名：
张颖聪;葛晋群;王国安
作者机构：
文献出处：
引用格式：
[1]张颖聪;葛晋群;王国安-.利用先进微加工技术和薄膜材料实现电可调射频器件)[J].中南大学学报（英文版）,2022(10):3248-3260
A类：
表面微加工,体微加工技术,射频微机电系统,可调谐射频器件,表面微加工技术
B类：
薄膜材料,多频段,高性价比,小型化,可重构,无线通信系统,技术设计,设计制备,制造工艺,铁电,集成设计,图案,结构工艺,铁磁共振,共振频率,方法和策略,电学
AB值：
0.158213
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