典型文献
激光冲击对氧化石墨烯薄膜的结构及力电性能影响
文献摘要：
采用激光烧蚀氧化石墨烯薄膜,可实现其微尺度图案化加工,以应用于微纳米电子器件.但激光冲击下氧化石墨烯薄膜的结构及力、电性能变化直接影响了器件稳定性和可靠性.为研究超高应变率加载对氧化石墨烯薄膜的结构及性能的影响,采用不同功率激光冲击氧化石墨烯薄膜,通过对其表面形貌、化学成分表征揭示薄膜结构的改变机理,通过对薄膜冲击前后的硬度、弹性模量、导电率测试探索合理的激光加工参数.结果表明:在1.14 W功率的二氧化碳激光冲击下,可实现加工区氧化石墨烯薄膜的还原且不造成薄膜烧蚀断裂,其电导率可达到1.727×103 S/m,弹性模量为49.97 GPa,硬度为5.71 GPa.
文献关键词：
激光冲击;图案化加工;电导率;硬度;弹性模量
中图分类号：
作者姓名：
暴杨帆;王菡;李志刚
作者机构：
太原理工大学机械与运载工程学院,山西 太原 030024;太原理工大学航空航天学院,山西 太原 030024
文献出处：
引用格式：
[1]暴杨帆;王菡;李志刚-.激光冲击对氧化石墨烯薄膜的结构及力电性能影响)[J].爆炸与冲击,2022(11):154-160
A类：
图案化加工
B类：
激光冲击,氧化石墨烯薄膜,力电性能,激光烧蚀,微尺度,微纳米,电子器件,性能变化,超高应变率,表面形貌,成分表,薄膜结构,弹性模量,导电率,试探,激光加工参数,二氧化碳激光,加工区,电导率,GPa
AB值：
0.197657
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