典型文献
微纳测量机靶镜正交偏差角测量不确定度评定
文献摘要：
三维靶镜是微纳米坐标测量机系统中的重要组成部分,其各面间正交性对保障系统测量精度至关重要.为检验三维靶镜加工是否符合测量机精度要求,对三维靶镜正交偏差角进行测量及不确定度评定,在量值特性分析建模基础上,研究了测量不确定度表示指南传统方法(称为GUM法)、蒙特卡洛方法(MCM)及自适应蒙特卡洛方法(AMCM)3种测量评定方法.测量评定结果对比表明,三维靶镜加工精度基本符合预期要求,其中Z-X面和Y-Z面的面间夹角均为0.5"左右,X-Y面间夹角在3.3"左右;3种方法所得评定结果基本一致,MCM和AMCM较GUM法评定结果更合理,AMCM相对MCM更高效.所做工作为后续研究微纳米坐标测量机面向任务的测量不确定度评定提供了借鉴方法.
文献关键词：
测量不确定度;坐标测量机;测量不确定度表示指南;蒙特卡洛方法;自适应蒙特卡洛方法
中图分类号：
作者姓名：
黄强先;张祖杨;郭小倩;陈志文;李红莉;程荣俊;张连生
作者机构：
合肥工业大学仪器科学与光电工程学院 合肥 230009;合肥工业大学测量理论与精密仪器安徽省重点实验室 合肥 230009
文献出处：
引用格式：
[1]黄强先;张祖杨;郭小倩;陈志文;李红莉;程荣俊;张连生-.微纳测量机靶镜正交偏差角测量不确定度评定)[J].电子测量与仪器学报,2022(10):1-8
A类：
自适应蒙特卡洛方法,AMCM
B类：
微纳测量,偏差角,测量不确定度评定,微纳米,坐标测量机,机系统,正交性,保障系统,系统测量,测量精度,精度要求,测量不确定度表示指南,GUM,评定方法,结果对比,加工精度,夹角,更合,做工,面向任务
AB值：
0.200724
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