典型文献
交叉电容式传感器研究进展综述
文献摘要：
本文介绍了交叉电容原理的起源和发展历程.讲述交叉电容用于电容基准的研究现状以及对1 pF电容量的测量不确定度逐步降低到10-8.综述了交叉电容器用于传感器制作的方法和原理以及典型应用,对比传统电容传感器对交叉电容式传感器进行了如下分类:变介质型、变面积型和变极板间距型,并对它的优缺点进行了分析;最后讲述了微小电容检测的方法.在分析现有交叉电容传感器的研究基础上,探讨了如何进一步优化交叉电容式传感器以及发展方向.通过对现有的交叉电容式传感器进行综述归纳,使得电容传感器体系更加完善同时为后续的交叉电容器研究提供参考.
文献关键词：
交叉电容;电容基准;传感器;电容检测
中图分类号：
作者姓名：
张洪朋;郑文博;李伟;王英新;赵旭鹏;孙玉清
作者机构：
大连海事大学轮机工程学院 大连116026
文献出处：
引用格式：
[1]张洪朋;郑文博;李伟;王英新;赵旭鹏;孙玉清-.交叉电容式传感器研究进展综述)[J].电子测量技术,2022(07):117-124
A类：
交叉电容,交叉电容原理,电容基准
B类：
电容式传感器,进展综述,pF,电容量,测量不确定度,电容器,器用,典型应用,电容传感器,变面积,变极,极板,板间距,微小电容,电容检测,加完
AB值：
0.20051
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