典型文献
红外光学微结构表面的高效自适应飞刀切削
文献摘要：
为了实现红外光学微结构表面的高效、高精度、低损伤加工,提出了一种超精密自适应飞刀切削方法,并进行了实验验证.根据飞刀切削的运动学特性,建立了飞刀切削塑性加工模型.以最大切屑厚度始终小于脆塑转变临界为原则,根据微结构表面的局部形貌特征,采用迭代算法规划出具有动态变化进给速度的刀具轨迹.最后,将所提出方法与传统飞刀切削方法进行对比实验,验证了所提出自适应飞刀切削方法的有效性.通过实验成功在单晶硅材料上加工了无脆性断裂的微沟槽,表面粗糙度达到18 nm.与传统飞刀切削方法相比,超精密自适应飞刀切削方法在不降低进给速度的前提下,避免了脆性断裂,加工效率是传统方法的2.5倍.
文献关键词：
红外光学材料;超精密飞刀切削;微结构;自适应调速;加工效率
中图分类号：
作者姓名：
李佩铮;杜雪;孙占文;王素娟;徐诗俊
作者机构：
广东工业大学精密电子制造技术与装备国家重点实验室,广东广州510006;香港理工大学工业与系统工程学系超精密加工技术国家重点实验室,香港999077
文献出处：
引用格式：
[1]李佩铮;杜雪;孙占文;王素娟;徐诗俊-.红外光学微结构表面的高效自适应飞刀切削)[J].光学精密工程,2022(15):1845-1856
A类：
超精密飞刀切削
B类：
微结构表面,低损伤,切削方法,运动学特性,塑性加工,工模,切屑,脆塑转变,形貌特征,迭代算法,划出,进给速度,刀具轨迹,单晶硅,硅材料,脆性断裂,微沟槽,表面粗糙度,不降,加工效率,红外光学材料,自适应调速
AB值：
0.218896
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