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表面粗糙度对飞秒激光烧蚀4H-SiC衬底的影响
文献摘要：
飞秒激光加工材料中烧蚀阈值对微纳加工有极其重要的指导意义.本文利用飞秒激光辐照三种表面粗糙度4H-SiC晶片进行烧蚀实验.研究了表面粗糙度对飞秒激光加工4H-SiC烧蚀形貌、阈值及其周期性条纹的影响.实验系统地测定了三种表面粗糙度SiC晶片单脉冲及多脉冲烧蚀阈值.分析了单脉冲激光作用下,不同表面粗糙度晶片随脉冲能量变化的烧蚀形貌.在多脉冲激光作用下,退火区产生了定向条纹结构,在SiC衬底Ra≥5.5 nm,其表面产生深亚波长波纹(约110 nm,Λ≈0.2λ).而烧蚀阈值随着脉冲数N≥500的增加而降低,并最终趋于稳定.
文献关键词：
碳化硅;表面粗糙度;烧蚀阈值;周期性结构;飞秒激光
中图分类号：
作者姓名：
陈建锵;谢小柱;彭清发;何梓裕;胡伟;任庆磊;龙江游
作者机构：
文献出处：
引用格式：
[1]陈建锵;谢小柱;彭清发;何梓裕;胡伟;任庆磊;龙江游-.表面粗糙度对飞秒激光烧蚀4H-SiC衬底的影响)[J].中南大学学报（英文版）,2022(10):3294-3303
A类：
多脉冲烧蚀
B类：
表面粗糙度,飞秒激光烧蚀,4H,SiC,衬底,飞秒激光加工,加工材料,烧蚀阈值,微纳加工,飞秒激光辐照,晶片,烧蚀形貌,条纹,实验系统,单脉冲,脉冲激光,脉冲能量,能量变化,退火,火区,区产,Ra,亚波长,长波,波纹,脉冲数,碳化硅,周期性结构
AB值：
0.27208
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