典型文献
衬底温度对铌薄膜组织结构及界面结合性能的影响
文献摘要：
为获得组织结构及界面结合性能优异的铌薄膜,采用直流偏压二极溅射技术在无氧铜表面溅射制备铌薄膜,借助SEM、AFM、XPS、划痕仪等分析衬底温度对膜层组织结构和界面结合能力的影响.结果表明:随衬底温度的提高,铌薄膜表面的颗粒尺寸增大,表面粗糙度由Ra 27.6 nm增加到Ra 65.3 nm,薄膜厚度从2.832μm增加到6.021μm.随衬底温度的提高,氧化现象减弱,衬底温度在400℃ 条件下制备的膜层中氧含量最低,仅占7.47％,膜层中仅有轻微的氧化现象,说明溅射所制备的铌薄膜纯度较高,膜层中的杂质含量少.衬底温度改变时,铌薄膜与基体的界面结合能力没有发生明显的变化,界面结合强度均高于50 N.
文献关键词：
直流偏压二极溅射;铌薄膜;衬底温度;组织结构;界面结合性能
中图分类号：
作者姓名：
耿娟娟;李争显;王浩楠;吕海兵;张长伟
作者机构：
西北有色金属研究院,西安710016;东北大学材料科学与工程学院,沈阳110819
文献出处：
引用格式：
[1]耿娟娟;李争显;王浩楠;吕海兵;张长伟-.衬底温度对铌薄膜组织结构及界面结合性能的影响)[J].有色金属工程,2022(01):14-21
A类：
铌薄膜,直流偏压二极溅射
B类：
衬底温度,界面结合性能,无氧铜,AFM,XPS,划痕,膜层,界面结合能力,颗粒尺寸,表面粗糙度,Ra,薄膜厚度,氧含量,杂质含量,温度改变,界面结合强度
AB值：
0.156744
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
