典型文献
衬底类型对ZnO薄膜应用在太阳能电池上的影响
文献摘要：
采用射频磁控溅射技术在硅衬底和石英玻璃衬底上制备了Al掺杂ZnO(AZO)薄膜,研究了不同衬底对AZO薄膜的结构、形貌、电学和光学性质的影响.结果表明:硅衬底上沉积的AZO薄膜具有更好的结晶质量;同时,硅衬底上AZO薄膜电阻率和载流子浓度较玻璃衬底上的性能提高10倍以上,其霍尔迁移率提高约17倍左右,硅衬底上AZO薄膜表现出优异的电学特性;所有样品在紫外光区有弱的发光峰,在可见光区有强而宽的绿光和黄光发光峰,紫外发光峰来源于ZnO的带间跃迁.此外,样品在可见光区平均透射率达90％ 以上.该实验研究结果对于可控生长的AZO透明导电薄膜在光伏器件上的应用具有重要意义.
文献关键词：
AZO薄膜;衬底类型;射频磁控溅射;光伏器件
中图分类号：
作者姓名：
肖原彬;王立生;赵艳芳
作者机构：
江苏理工学院机械工程学院,江苏常州213001
文献出处：
引用格式：
[1]肖原彬;王立生;赵艳芳-.衬底类型对ZnO薄膜应用在太阳能电池上的影响)[J].有色金属工程,2022(02):50-55
A类：
衬底类型
B类：
ZnO,膜应用,太阳能电池,池上,射频磁控溅射,磁控溅射技术,硅衬底,石英玻璃,AZO,光学性质,结晶质量,薄膜电阻,电阻率,载流子浓度,性能提高,霍尔,迁移率,电学特性,有样,紫外光,可见光,绿光,跃迁,透射率,可控生长,透明导电薄膜,光伏器件
AB值：
0.325182
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