典型文献
微流体惯性开关用液态金属的精密操控与封装
文献摘要：
选择无毒的镓铟锡作为液态金属汞的替代品,研究微流体惯性开关的封装工艺.经酸性处理与搭建无氧试验环境,抑制镓铟锡氧化,提高液滴的流动性能.通过解析计算,为保证液滴体积偏差对于阈值的误差影响小于1％,需实现体积为0.1μL×(1±3.9％)导电液滴的精密操控.针对金属液滴摄入不精确、不稳定的问题,搭建撞针阀系统,通过对撞针行程、输入压力及开阀时间的调控,完成目标体积的精确摄入(误差范围±3％),实现体积偏差对于阈值的影响误差为0.75％.并结合直书写3D打印涂胶的方法,最终完成液态金属的精密操控与封装.
文献关键词：
惯性开关;微流体;液态镓铟锡;精密操控
中图分类号：
作者姓名：
刘瑞;商二威;谢晋;刘禹;熊壮;唐彬
作者机构：
江南大学机械工程学院,江苏无锡214122;中国工程物理研究院电子工程研究所,四川绵阳621900
文献出处：
引用格式：
[1]刘瑞;商二威;谢晋;刘禹;熊壮;唐彬-.微流体惯性开关用液态金属的精密操控与封装)[J].传感器与微系统,2022(08):25-28
A类：
撞针行程,液态镓铟锡
B类：
微流体,惯性开关,液态金属,精密操控,无毒,替代品,封装工艺,无氧,试验环境,液滴,流动性能,解析计算,体积偏差,误差影响,导电液,摄入,针阀,对撞,误差范围,直书,涂胶
AB值：
0.332999
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