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基于爆破阀的微流体引流控制芯片研究
文献摘要：
微量流体的收集与控制是微流控领域的关键技术,微流体引流控制不仅需要对流速、时间等参数进行精确控制,而且要避免流体在多个检测区的交叉混染.本文设计一种基于爆破阀的微流体引流控制芯片.首先,对爆破阀机理进行分析,并采用MEMS工艺制备微流控芯片;然后,对影响爆发阀特性的材料亲水性进行跟踪测量,对微流控芯片的引流特性进行宏观和微观观测;更进一步地,对爆破阀的爆破压力进行理论计算和实验实测,3种爆破阀的实测爆破压力分别为90、690、2 440 Pa;最后,对不同进样速率下爆破阀的爆破特性进行测试.实验结果表明,通过爆破阀的合理设计,可实现微流体的引流控制,使其按预定次序、预定时间流入检测区,进而有效避免流体的交叉混染.
文献关键词：
微流体;爆破阀;引流控制;等离子处理;微压力测量
中图分类号：
作者姓名：
杨明鹏;刘佳;李言杰;葛静
作者机构：
南京信息工程大学自动化学院 南京 210044;南京信息工程大学江苏省大数据分析技术重点实验室南京 210044;南京信息工程大学江苏省大气环境与装备技术协同创新中心 南京 210044
文献出处：
引用格式：
[1]杨明鹏;刘佳;李言杰;葛静-.基于爆破阀的微流体引流控制芯片研究)[J].仪器仪表学报,2022(01):54-61
A类：
爆破阀,微压力测量
B类：
微流体,引流控制,控制芯片,精确控制,个检,MEMS,工艺制备,微流控芯片,亲水性,跟踪测量,宏观和微观,更进一步,爆破压力,Pa,合理设计,预定,次序,等离子处理
AB值：
0.17895
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