典型文献
用于不同粒径粒子聚焦的MEMS微流体芯片
文献摘要：
基于惯性微流体技术和微电子机械系统(MEMS)工艺,设计了一款用于不同粒径粒子聚焦的微流体芯片.通过对不同收缩区-扩张区面积比(CE-ratio)以及相同CE-ratio下不同收缩区与扩张区长度关系的微通道进行仿真测试,制备出了分别适用于不同粒径粒子的对称式小CE-ratio微通道.采用MEMS工艺加工,通过改进键合工艺使芯片能在高流速下保持性能稳定.在雷诺数为68的前提下对聚焦测试图进行归一化灰度值分析.测试结果表明:通道内粒子聚焦流线(粒径5 μm和20 μm)处灰度值比其他位置灰度值高3倍,且通道内其他位置的归一化灰度值较稳定地保持在0.2(粒径20 μm)和0.25(粒径5 μm)左右.在高流速工作情况下,对称式小CE-ratio微流体芯片性能稳定且粒子聚焦效果良好.
文献关键词：
微电子机械系统(MEMS);微流体芯片;惯性微流体技术;微通道;粒子聚焦
中图分类号：
作者姓名：
冀苗苗;张斌珍;段俊萍
作者机构：
中北大学仪器与电子学院仪器科学与动态测试教育部重点实验室,太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]冀苗苗;张斌珍;段俊萍-.用于不同粒径粒子聚焦的MEMS微流体芯片)[J].微纳电子技术,2022(08):778-786
A类：
粒子聚焦,惯性微流体技术
B类：
不同粒径,MEMS,微流体芯片,微电子机械系统,面积比,CE,ratio,区长,微通道,仿真测试,工艺加工,键合,高流速,雷诺数,灰度值,流线
AB值：
0.166307
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