典型文献
一种电磁力驱动的无阀微泵的气体泵送特性
文献摘要：
基于微流体在锥形通道内流动的非对称性,设计并制作了一种电磁力驱动的扩散管/汇聚管型无阀微泵,该微泵主体部分由嵌有微型线圈的聚二甲基硅氧烷(PDMS)振动膜和含有微米级锥形管的泵体组成.当在微型线圈中通入交流电信号,线圈中会产生周期性变化的磁场,与外部永磁体产生的恒定磁场相互作用产生振动,并带动PDMS振动膜往复运动.为了提高微泵的泵送性能,将30个锥形管并排连接到泵腔和微泵的进出口处.之后对制备的微泵的性能进行测试,分析了泵送气体的方向,并探究了驱动电压幅值和驱动频率对泵送气体体积流量的影响.测试结果表明,所设计的无阀微泵能够向锥形通道的扩散方向泵送气体,且随着驱动电压和驱动频率的增大,泵送气体体积流量增加.
文献关键词：
微流体;无阀微泵;扩散管/汇聚管;聚二甲基硅氧烷(PDMS)振动膜;电磁力驱动
中图分类号：
作者姓名：
祁俊霞;张玉东;徐献忠;邱京江;卫荣汉
作者机构：
郑州大学力学与安全工程学院 郑州 450001;郑州大学智能传感研究院,郑州 450001
文献出处：
引用格式：
[1]祁俊霞;张玉东;徐献忠;邱京江;卫荣汉-.一种电磁力驱动的无阀微泵的气体泵送特性)[J].微纳电子技术,2022(11):1177-1183
A类：
B类：
电磁力驱动,无阀微泵,微流体,内流,非对称性,扩散管,管型,分由,型线,线圈,聚二甲基硅氧烷,PDMS,微米级,锥形管,泵体,体组成,当在,交流电,电信号,周期性变化,永磁体,恒定磁场,往复运动,泵送性能,并排,接到,泵腔,出口处,送气,驱动电压,电压幅值,体积流量
AB值：
0.27084
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