典型文献
基于机器视觉的磁控溅射薄膜件的划痕检测
文献摘要：
针对目前磁控溅射薄膜件人工检测效率低的问题,结合企业需求,设计了一种基于机器视觉技术的磁控溅射薄膜件划痕自动检测系统,实现对产品表面各种划痕的自动检测.首先对采集到的图像进行校正,利用标准图像创建模板,通过形状模板匹配提取样本图像中感兴趣的区域.然后将图像分解成低频和高频两部分,对低频部分进行先膨胀后腐蚀的操作,对高频部分进行中值滤波以去除噪声,图像合成后通过取反和灰度缩放生成增强图像;最后采用二维Otsu拟合线阈值分割法对图像进行分割,采用选取指定形状特征和骨架提取法对划痕缺陷进行提取和测量.对100件样品进行多次随机验证的结果表明,本文设计的系统能快速、准确、高效地提取并测量划痕缺陷,每个样品检测的平均耗时仅0.25 s,正检率达98.5％.该方案与人工检测比,速度更快、准确度更高,可以满足工业应用的需求.
文献关键词：
磁控溅射;划痕检测;机器视觉;阈值分割
中图分类号：
作者姓名：
万松峰;林少斌
作者机构：
东莞职业技术学院智能制造学院,广东 东莞 523808
文献出处：
引用格式：
[1]万松峰;林少斌-.基于机器视觉的磁控溅射薄膜件的划痕检测)[J].电镀与涂饰,2022(18):1327-1332
A类：
B类：
磁控溅射,溅射薄膜,划痕检测,检测效率,企业需求,机器视觉技术,自动检测系统,利用标准,标准图,模板匹配,配提,感兴趣,图像分解,分解成,中值滤波,除噪声,图像合成,取反,灰度,缩放,放生,增强图像,Otsu,阈值分割,分割法,定形,形状特征,骨架提取,提取法,陷进,样品检测,工业应用
AB值：
0.377154
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