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三轴微振动实时测量技术研究
文献摘要：
由于半导体生产及检测设备对环境微振动要求十分严格,设计了一种用于振动敏感区域微振动测量的三轴微振动实时测量系统.针对微振动测量过程中噪声干扰问题,提出了一种非对称广义高斯曲线拟合分频段积分算法.对由希尔伯特变换获取的加速度频谱峰值区域进行拟合,得到拟合曲线;通过设置积分频段抑制系数获取有效积分频段后进行频域积分得到微振动速度信号.数值仿真实验结果显示该算法在应对非对称加速度频谱时有更好的抗噪性能.利用低频标准振动平台和激光多普勒测振仪进行校准实验,结果显示去噪后的峰峰值相对误差相比于去噪前从35.11％下降至3.43％.仿真和校准实验结果表明,测量系统及算法能够对微振动信号进行准确测量及处理,抗噪性能较强.
文献关键词：
微振动实时测量;加速度积分;频域积分;非对称广义高斯曲线
中图分类号：
作者姓名：
余才志;李岳;王鹏;孙长库
作者机构：
天津大学精密仪器与光电子工程学院,天津300072
文献出处：
引用格式：
[1]余才志;李岳;王鹏;孙长库-.三轴微振动实时测量技术研究)[J].传感技术学报,2022(12):1635-1642
A类：
微振动实时测量,非对称广义高斯曲线,由希尔
B类：
三轴,测量技术研究,检测设备,敏感区域,微振动测量,测量系统,噪声干扰,干扰问题,曲线拟合,分频,频段,积分算法,希尔伯特变换,加速度频谱,频谱峰值,拟合曲线,行频,频域积分,分得,振动速度,数值仿真实验,抗噪性能,动平台,激光多普勒测振仪,准实验,去噪,峰峰,振动信号,准确测量,加速度积分
AB值：
0.274019
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