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电子和半导体行业纯水制备设备分析
文献摘要：
电子和半导体行业对纯水水质要求较高,纯水制备过程中需逐级去除各种污染物,最终达到用水要求.文章针对典型种类的污染物,阐述了当前工程中已得到广泛应用的污染物去除设备及典型纯水制备工艺路线,以供相关人员参考.
文献关键词：
电子;半导体;纯水;设备
中图分类号：
作者姓名：
王玉兵
作者机构：
江苏中电创新环境科技有限公司,江苏 无锡 214100
文献出处：
引用格式：
[1]王玉兵-.电子和半导体行业纯水制备设备分析)[J].中国高新科技,2022(24):125-126,129
A类：
B类：
半导体行业,纯水,设备分析,制备过程,逐级,已得,污染物去除,制备工艺,工艺路线
AB值：
0.331806
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