典型文献
基于简易非本征法—珀腔的大量程纳米位移传感器
文献摘要：
微纳坐标测量机(micro/nano CMMs)上的接触式扫描探针可以产生振动信号,实现微米范围内的三维测量.基于白光低相干干涉原理,提出了一种简单的非本征法布里—珀罗干涉(EFPI)结构,用于一维非接触式位移测量.其传感结构包括光纤端面和镀金反射镜,二者互相平行形成EFPI结构.传感器使用目标表面和光纤探针之间的光程差(OPD)来计算位移大小.该传感系统可测量64.52～970.55μm的长度范围,分辨率为1 nm.提出了用互相关函数(CCF)算法作为位移解调方法,为三坐标测量机实现高分辨率、大范围、快速扫描测量提供了一种新方法,为非接触式多维形貌测量传感器的开发开辟了新途径.
文献关键词：
非本征法布里—珀罗干涉;白光低相干;一维位移测量;互相关算法
中图分类号：
作者姓名：
孙志强;邵志强;毕佳宇;宫占江;王劲松;王烨
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十九研究所,黑龙江哈尔滨150028;哈尔滨工程大学信息与通信工程学院,黑龙江哈尔滨150006
文献出处：
引用格式：
[1]孙志强;邵志强;毕佳宇;宫占江;王劲松;王烨-.基于简易非本征法—珀腔的大量程纳米位移传感器)[J].传感器与微系统,2022(07):25-28
A类：
白光低相干,一维位移测量
B类：
非本,大量程,位移传感器,micro,nano,CMMs,扫描探针,振动信号,微米,三维测量,低相干干涉,干涉原理,法布里,罗干,EFPI,非接触式,端面,镀金,反射镜,相平,光纤探针,光程差,OPD,传感系统,可测量,互相关函数,CCF,位移解,解调方法,三坐标测量机,快速扫描,形貌测量,量传,互相关算法
AB值：
0.370344
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