典型文献
具有逗留时间约束的多组合设备故障响应策略
文献摘要：
在半导体制造中,多组合设备出现故障会导致晶圆加工受到影响.针对晶圆逗留时间约束的单臂多组合设备,研究了每台组合设备并行模块均出现一个模块故障后的有效调度问题.通过建立了单臂组合设备的Petri网模型,分析了系统稳态调度的时间特性.通过增加虚拟晶圆,提出了系统故障前稳态调度过渡至故障后可行稳态调度和不可行调度的有效运行控制策略.
文献关键词：
晶圆制造;Petri网;故障响应;逗留时间约束;单臂多组合设备
中图分类号：
作者姓名：
白雪婷;潘春荣
作者机构：
江西理工大学 机电工程学院,赣州 341000
文献出处：
引用格式：
[1]白雪婷;潘春荣-.具有逗留时间约束的多组合设备故障响应策略)[J].制造业自动化,2022(03):68-72,80
A类：
逗留时间约束,单臂多组合设备
B类：
设备故障,故障响应,响应策略,半导体制造,模块故障,调度问题,Petri,时间特性,系统故障,不可行,有效运行,运行控制策略,晶圆制造
AB值：
0.231939
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