典型文献
微纳光纤Fabry-Perot超低温压力传感器研究
文献摘要：
提出了一种用于超低温环境的微纳光纤非本征法布里-珀罗干涉仪压力传感器.单模光纤端面通过飞秒激光刻蚀出微孔,与无芯光纤熔接形成密闭的法珀腔.通过将无芯光纤切割、研磨等步骤,制作出微纳光纤压力传感器.利用飞秒激光微加工,可以加工出不同孔径的微孔及不同厚度的膜片,得到不同灵敏度及测量压力范围的压力传感器.实验结果表明,提出的传感器在?196℃、0～5 MPa的压力范围内表现出良好的线性度,压力升高和降低过程中腔长-压力灵敏度分别为110.33 nm/MPa和110.68 nm/MPa.该传感器能够满足超低温环境下的压力测量需求.
文献关键词：
非本征法布里-珀罗干涉仪;光纤传感器;飞秒激光微加工;超低温;压力测量
中图分类号：
作者姓名：
张雨彤;江毅;崔洋;冯新星
作者机构：
北京理工大学 光电学院 信息光子技术工业和信息化部重点实验室,北京 100081;包头师范学院 物理科学与技术学院,内蒙古 包头 014030
文献出处：
引用格式：
[1]张雨彤;江毅;崔洋;冯新星-.微纳光纤Fabry-Perot超低温压力传感器研究)[J].光子学报,2022(05):219-225
A类：
B类：
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AB值：
0.30678
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