典型文献
基于石英MEMS技术的光纤法布里-珀罗高温压力传感器
文献摘要：
提出并实验验证了一种全石英光纤法布里-珀罗高温动态压力传感器,利用MEMS技术及三层石英玻璃高温热压键合技术实现了传感器敏感单元的批量化制造.为了减小传感器的温度系数,将敏感单元、中空石英管及镀金光纤通过CO2激光熔接技术进行熔接,从而实现全石英结构光纤压力传感器的制作.对制作的传感器进行了高温静压及常温动压测试,高温静压实验结果表明传感器能在800℃,1 MPa温压环境下正常工作,且传感器表现出了良好的高温稳定性及超低温度系数(0.069 nm/℃).常温动压测试结果表明传感器能实现2 kHz的动态压力测量.由于该种传感器具有全石英无胶粘结构,可批量化制造敏感单元以及超低温度系数的优点,使得该种全石英光纤法布里-珀罗动态压力传感器在高温环境下的动态压力测量领域具有潜在的应用潜力.
文献关键词：
光纤传感器;法布里-珀罗;干涉;石英;压力测量
中图分类号：
作者姓名：
李加顺;贾平岗;王军;刘佳;安国文;熊继军
作者机构：
中北大学 仪器与电子学院 动态测试技术省部共建国家重点实验室,太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]李加顺;贾平岗;王军;刘佳;安国文;熊继军-.基于石英MEMS技术的光纤法布里-珀罗高温压力传感器)[J].光子学报,2022(06):204-213
A类：
镀金光纤
B类：
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AB值：
0.287214
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