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基于对偶方程有限元法的电阻参数提取
文献摘要：
集成电路特征尺寸的不断缩小使得互联寄生效应成为制约其性能提升的主要因素,因此需要在设计阶段提取电路版图的各项电气参数,以进行后续的仿真分析.集成电路的电阻参数提取是绝大多数工程所要面对的问题,同时也是进行电路性能等指标验证的必要条件.该文提出基于对偶方程有限元法的电阻参数提取方法,通过采用有限元法,根据相关物理系统建立偏微分方程,并利用电流场中对偶方程方法降低了计算复杂度,提升了计算效率,通过若干算例验证了该方法在进行电阻参数提取时的效率与精度.
文献关键词：
集成电路;电阻提取;稳恒电流场;有限元法;对偶方程
中图分类号：
作者姓名：
张程;徐小宇;任卓翔
作者机构：
中国科学院微电子研究所,北京100029;中国科学院大学,北京100049;索邦大学,巴黎75006
文献出处：
引用格式：
[1]张程;徐小宇;任卓翔-.基于对偶方程有限元法的电阻参数提取)[J].电子设计工程,2022(15):1-5
A类：
电阻提取,稳恒电流场
B类：
对偶方程,有限元法,电阻参数,集成电路,特征尺寸,寄生,性能提升,设计阶段,版图,电气参数,所要,指标验证,参数提取方法,物理系统,偏微分方程,计算复杂度,计算效率,算例验证
AB值：
0.23981
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