典型文献
三角放大型压电陶瓷微纳米驱动机构
文献摘要：
提出了一种基于小压电陶瓷条的三角放大型微纳米驱动机构.该机构由两个1.6 mm×1.6 mm×5.0 mm的小压电陶瓷条、三角对称型伸缩臂、大顶角柔性铰链(扫描端)及基座组成,由小压电陶瓷条驱动伸缩臂运动,基于大顶角三角形的放大原理,获得高放大倍率的扫描端输出位移.理论分析与有限元仿真表明,当三角对称型伸缩臂与底边的夹角为6°时,扫描端的位移量与小压电陶瓷条的伸缩量之比可达9倍左右;当驱动电压为80 V时,相比于小压电陶瓷条的伸缩量3.2μm,扫描端的位移量理论值可达29.5μm.显微运动测量实验表明,在相同驱动电压下,扫描端的实际位移量达到26.6μm,实际位移放大倍数达到8.3倍.将该机构作为原子力显微镜的慢轴扫描器,成功实现了基于小压电陶瓷条的宽范围原子力显微镜扫描成像(4μm×26μm),具有良好的分辨率、对比度和线性度.该机构具有原理新颖、结构简洁、成本低廉、性能优越等特点,可望在光学、精密机械及微纳米技术领域获得广泛的应用.
文献关键词：
微纳米驱动机构;三角放大型;小压电陶瓷条;输出位移;原子力显微镜
中图分类号：
作者姓名：
胡逸凡;章海军;倪凯佳
作者机构：
浙江大学光电科学与工程学院现代光学仪器国家重点实验室,杭州浙江310027
文献出处：
引用格式：
[1]胡逸凡;章海军;倪凯佳-.三角放大型压电陶瓷微纳米驱动机构)[J].光学精密工程,2022(17):2094-2099
A类：
三角放大型,微纳米驱动机构,小压电陶瓷条
B类：
该机,伸缩臂,大顶,顶角,柔性铰链,基座,三角形,放大原理,高放大倍率,输出位移,有限元仿真,底边,夹角,位移量,缩量,之比,驱动电压,理论值,运动测量,测量实验,位移放大,放大倍数,原子力显微镜,扫描器,宽范围,扫描成像,对比度,线性度,性能优越,可望,精密机械,纳米技术,技术领域
AB值：
0.248759
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