典型文献
基于太赫兹时域光谱技术的多层涂层高效可靠测厚方法
文献摘要：
为实现基于太赫兹技术的多层涂层的快速与可靠测厚,提出了一种自适应教与学优化算法,改进了标准Kent混沌映射,提高了初始种群多样性;并基于步长调节优化和次优个体优化,改进了教阶段与学阶段,提高算法寻优精度和效率.将该算法与太赫兹波测量多层涂层厚度的理论模型结合,建立了涂层厚度求解方法.最后,制备了多层涂层样件,开展了太赫兹无损检测实验.实验结果表明:建立的涂层厚度求解方法相比于全局最优算法的效率提高了1倍,单次实验仅需50 s左右便可快速得到多层涂层的厚度、折射率和消光系数,测量所得的多层涂层厚度的相对误差在1.5％以内,且标准差最大不超过1.7 μm.基于太赫兹测量信号,所提方法可以高效、准确及可靠地计算多层涂层的厚度.
文献关键词：
测量;太赫兹;厚度测量;多层涂层;教与学优化算法;理论模型
中图分类号：
作者姓名：
曹丙花;郑德栋;范孟豹;孙凤山;刘林
作者机构：
中国矿业大学信息与控制工程学院,江苏徐州221000;中国矿业大学机电工程学院,江苏徐州221000;北京航天计量测试技术研究所,北京100076
文献出处：
引用格式：
[1]曹丙花;郑德栋;范孟豹;孙凤山;刘林-.基于太赫兹时域光谱技术的多层涂层高效可靠测厚方法)[J].光学学报,2022(01):119-129
A类：
B类：
太赫兹时域光谱技术,多层涂层,层高,高效可靠,测厚,太赫兹技术,教与学优化算法,Kent,混沌映射,初始种群,种群多样性,步长,长调,次优,算法寻优,寻优精度,太赫兹波,涂层厚度,求解方法,样件,太赫兹无损检测,全局最优,最优算法,效率提高,折射率,消光系数,厚度测量
AB值：
0.309601
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