典型文献
微波谐振腔低气压放电等离子体反应动力学过程
文献摘要：
低气压放电是制约航天器微波部件向大功率、小型化方向发展的重要问题.针对航天器微波部件低气压放电机理尚不明确的关键问题,本文搭建了低气压射频放电等离子体发射光谱诊断平台,对微波腔体谐振器低气压射频放电的等离子体反应动力学过程,及放电对于微波部件的破坏效应进行研究.获取不同气体压强条件下谐振器内放电等离子体的发射光谱,发现等离子体内羟基OH(A-X)、激发态氮分子N2(C-B)及氧原子O(3p5P→3s5S0)的密度随气压升高呈现先上升后下降的变化趋势.对这一现象所蕴含的等离子体反应动力学机理进行了分析,发现气体压强可通过改变粒子生成与消耗路径及等离子体平均电子温度的方式对等离子体中各粒子的浓度大小产生影响.研究了等离子体发射光谱随输入功率的变化规律,发现了不同气压条件下粒子浓度随输入功率的增大呈线性增长的趋势.本研究为探明低气压射频放电机理及航天器微波部件的可靠性设计提供了参考依据.
文献关键词：
航天器微波部件;射频低气压放电;等离子体;发射光谱
中图分类号：
作者姓名：
陈泽煜;彭玉彬;王瑞;贺永宁;崔万照
作者机构：
中国空间技术研究院西安分院,空间微波技术重点实验室,西安 710000;西安交通大学微电子学院,西安 710049
文献出处：
引用格式：
[1]陈泽煜;彭玉彬;王瑞;贺永宁;崔万照-.微波谐振腔低气压放电等离子体反应动力学过程)[J].物理学报,2022(24):167-176
A类：
航天器微波部件,3p5P,3s5S0,射频低气压放电
B类：
微波谐振腔,放电等离子体,反应动力学,动力学过程,大功率,小型化,放电机理,射频放电,等离子体发射光谱,光谱诊断,诊断平台,微波腔体,谐振器,破坏效应,不同气体,气体压强,内放,激发态,氮分子,N2,氧原子,压升,先上,动力学机理,电子温度,各粒,小产,输入功率,不同气压,压条,粒子浓度,线性增长,可靠性设计
AB值：
0.22825
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