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大功率射频板条CO2激光器
文献摘要：
大功率射频板条CO2激光器曾经是深熔焊接、切割的主力光源,目前主要用于超大规模集成电路晶圆退火.华中科技大学于2007年就开始了大功率射频板条CO2激光器的研发,并进行大量的理论研究和产业化工作.本文介绍了射频板条CO2激光器的国内外发展动态;重点分析了激光器的结构设计、(板条)面积放大、扩散冷却、激励电源、射频传输、阻抗匹配、射频气体放电等离子体、放电均匀性、电极热效应、非稳-波导混合腔、激光功率提取、输出光束特性、光束整形等核心技术;展望了射频板条CO2激光器在超大规模集成电路晶圆激光退火中的重要创新应用.
文献关键词：
激光器;大功率射频板条CO2激光器;扩散冷却;非稳-波导混合腔;光束整形;射频激励;气体放电
中图分类号：
作者姓名：
唐霞辉;秦应雄;彭浩;李玉洁;吴洋;肖龙胜;肖瑜;柳娟
作者机构：
华中科技大学光学与电子信息学院,湖北 武汉430074;湖北第二师范学院物理与机电工程学院,湖北武汉430205;厦门大学航空航天学院,福建厦门361005
文献出处：
引用格式：
[1]唐霞辉;秦应雄;彭浩;李玉洁;吴洋;肖龙胜;肖瑜;柳娟-.大功率射频板条CO2激光器)[J].中国激光,2022(12):79-92
A类：
扩散冷却
B类：
大功率,板条,激光器,深熔焊,光源,超大规模集成电路,晶圆,华中科技大学,国内外发展,发展动态,射频传输,阻抗匹配,气体放电,放电等离子体,放电均匀性,极热,热效应,波导,激光功率,光束特性,光束整形,激光退火,创新应用,射频激励
AB值：
0.257366
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