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HiPIMS电源的设计基础及研究进展
文献摘要：
作为高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)技术的核心组成部分,HiPIMS电源在很大程度上决定着HiPIMS技术的研究进展和应用潜能.关于HiPIMS电源的研究整体上可以分为三个部分,分别是AC-DC功率变换器的研究、DC-DC功率变换器的研究以及HiPIMS功率负载的研究.其中,功率变换器是HiPIMS电源的直流供电端,技术特征依赖于脉冲电源共性技术,而功率负载部分则与HiPIMS放电模式相互影响.在综述脉冲电源的核心技术高动态响应、低输入电流纹波、高电压增益、高性能功率校正因数等研究现状的基础上,进一步总结基于HiPIMS放电特性的脉冲功率负载设计的研究现状,并展望HiPIMS电源亟待解决的关键问题,最终得出大功率HiPIMS电源需要从电力电子技术和等离子体物理技术两方面同步开展研究,指出基于真空等离子体物理特性的复合脉冲放电技术,将成为HiPIMS电源技术跳跃发展的必由之路.通过HiPIMS电源的设计基础及研究进展,为HiPIMS电源的进一步发展提供一定参考.
文献关键词：
HiPIMS电源;功率变换器;功率负载
中图分类号：
作者姓名：
巩春志;吴厚朴;胡天时;田修波
作者机构：
哈尔滨工业大学先进焊接与连接国家重点实验室 哈尔滨 150001
文献出处：
引用格式：
[1]巩春志;吴厚朴;胡天时;田修波-.HiPIMS电源的设计基础及研究进展)[J].中国表面工程,2022(05):前插1,1-9
A类：
功率校正,真空等离子体
B类：
HiPIMS,设计基础,高功率脉冲磁控溅射,AC,DC,功率变换器,功率负载,直流供电,技术特征,脉冲电源,共性技术,分则,放电模式,高动态响应,低输入电流纹波,高电压增益,放电特性,脉冲功率,大功率,电力电子技术,等离子体物理,物理技术,物理特性,脉冲放电,电源技术,跳跃
AB值：
0.225198
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