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基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究
文献摘要：
奇偶函数法与N次旋转法是平面绝对检验方法中常用的两种方法,这两方法在恢复面形的过程中都使用了奇偶函数分解算法,但是在求解奇奇项方面使用的方法不同,对比了这两种绝对检验方法.在奇偶函数法与N次旋转法的算法仿真过程中加入待测平晶重力形变的有限元分析,并对100mm 口径平晶进行奇偶函数法与N次旋转法实验,将面形恢复结果与液面法测量结果对比,结果显示奇偶函数法恢复面形的PV值差值为4.864nm,N次旋转法恢复面形的PV值差值为1.853nm.结果表明存在重力影响时,N次旋转法恢复面形精度优于奇偶函数法.仿真分析旋转角度误差对于奇偶函数法与N次旋转法的影响,结果显示N次旋转法抗旋转角度误差能力强于奇偶函数法.
文献关键词：
干涉测量;平面绝对检验;奇偶函数法;N次旋转法;有限元分析
中图分类号：
作者姓名：
李若琨;陈磊;马致遥;张喆;胡晨辉;郑东晖;胡志豪
作者机构：
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094
文献出处：
引用格式：
[1]李若琨;陈磊;马致遥;张喆;胡晨辉;郑东晖;胡志豪-.基于奇偶函数分解算法的绝对检验对比研究)[J].光学技术,2022(06):684-689
A类：
绝对检验,奇偶函数法,平面绝对检验,864nm,853nm
B类：
检验对比,旋转法,检验方法,奇奇,算法仿真,100mm,口径,液面,结果对比,PV,重力影响,面形精度,旋转角度,角度误差,抗旋转,干涉测量
AB值：
0.138459
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