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基于多层薄膜的长波红外InAs/GaSbⅡ类超晶格焦平面光响应调控研究
文献摘要：
本文基于长波InAs/GaSbⅡ类超晶格红外焦平面阵列(Focal Plane Array,FPA)设计和生长了由ZnS和Ge组成的多层薄膜结构.与没有多层薄膜的FPA相比,多层薄膜使其响应峰位置从8.7μm和10.3μm分别移动到9.8μm和11.7μm,50％响应截止波长从11.6μm移动至12.3μm,并且在波长为12μm处的响应强度增加了69％.总之,优化的多层薄膜可以调控FPA的响应波长,这为实现更高灵敏度和更高成像能力的长波红外探测提供了更好的平台.
文献关键词：
II类超晶格;焦平面阵列;多层薄膜;响应调控
中图分类号：
作者姓名：
史睿;周建;白治中;徐志成;周易;梁钊铭;师瑛;徐庆庆;陈建新
作者机构：
中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室,上海200083;上海科技大学信息学院,上海201210
文献出处：
引用格式：
[1]史睿;周建;白治中;徐志成;周易;梁钊铭;师瑛;徐庆庆;陈建新-.基于多层薄膜的长波红外InAs/GaSbⅡ类超晶格焦平面光响应调控研究)[J].红外与毫米波学报,2022(01):248-252
A类：
B类：
多层薄膜,长波红外,InAs,GaSb,超晶格,面光,光响应,响应调控,调控研究,红外焦平面阵列,Focal,Plane,Array,FPA,ZnS,Ge,薄膜结构,动到,截止波长,响应强度,总之,高灵敏度,红外探测,II
AB值：
0.334365
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