典型文献
实验优化设计中频反应溅射Al2O3:Ce薄膜发光性质研究
文献摘要：
为了得到最优发光的薄膜材料成分参数,采用均匀设计和二次通用旋转组合设计相结合的方法建立发光强度与薄膜中氧含量和Ce3+离子掺杂浓度的回归方程,并用遗传算法求其取最大值时的解.用中频反应磁控溅射技术制备了相应成分的Al2O3:Ce非晶薄膜.在320nm光激发下,获得了较理想的发射光谱,对薄膜发光机理分析表明:薄膜的光致发光来自于Ce3+离子的5d1激发态向基态4f1的两个劈裂能级的跃迁.发光强度强烈的依赖于薄膜的掺杂浓度和氧元素含量.XPS检测表明,Al2O3:Ce薄膜中存在Ce3+.Ce3+含量和薄膜的化学成分是通过X射线散射能谱(EDS)测量的.薄膜试样的晶体结构应用X射线衍射分析.
文献关键词：
光致发光;实验优化;Al2O3;薄膜;稀土元素
中图分类号：
作者姓名：
廖国进;闫绍峰;仪登利;戴晓春
作者机构：
辽宁工业大学机械工程与自动化学院,辽宁 锦州 121001
文献出处：
引用格式：
[1]廖国进;闫绍峰;仪登利;戴晓春-.实验优化设计中频反应溅射Al2O3:Ce薄膜发光性质研究)[J].真空,2022(01):24-28
A类：
4f1
B类：
实验优化,中频,反应溅射,Al2O3,薄膜发光,发光性质,了得,薄膜材料,材料成分,均匀设计,二次通用旋转组合设计,发光强度,氧含量,Ce3+,离子掺杂,掺杂浓度,反应磁控溅射,磁控溅射技术,非晶,320nm,光激发,发下,较理想,发射光谱,发光机理,机理分析,光致发光,5d1,激发态,基态,劈裂,能级,跃迁,氧元素,元素含量,XPS,线散射,EDS,晶体结构,结构应用,衍射分析,稀土元素
AB值：
0.450168
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