典型文献
基于分子动力学的GaN纳米磨削亚表面损伤形成机制
文献摘要：
纳米磨削技术是实现GaN晶体低损伤加工的超精密加工方法之一,但纳米磨削过程中GaN的亚表面损伤形成机制仍不清楚.同时,磨削深度作为典型的工艺参数之一,其对GaN亚表面损伤的影响也鲜有报道.通过分子动力学模拟来研究GaN纳米磨削过程中的亚表面损伤形成机制以及磨削深度对亚表面损伤的影响.结果表明,GaN亚表面存在间隙原子、空位缺陷、原子团簇、位错、堆垛层错和结构相变等缺陷.位错的伯氏矢量方向主要为1/3<1210>、1/3<1100>,相变由六方纤锌矿结构向立方闪锌矿结构和非晶结构转变.磨削深度由0.5 nm增加到2.0nm时,切向磨削力由26 N增加到182 N,法向磨削力由148 N增加到305 N,并且位错线长度由6.5 nm增加到18.2 nm,亚表面损伤层深度由1.7 nm增加到4.1 nm.位错滑移和结构相变是GaN纳米磨削过程中的主要塑性变形机制.由于磨削深度的增加导致磨削力增大,使得磨削接触区的磨削热量和能量升高,因此GaN塑性变形程度随磨削深度的增加而增大.
文献关键词：
氮化镓(GaN);分子动力学;纳米磨削;亚表面损伤;塑性变形;磨削深度
中图分类号：
作者姓名：
吴珍珍;刘一扬;韩涛;王东霞;翟会丽;闫海鹏
作者机构：
郑州财经学院智能工程学院,郑州 450000;河北科技大学机械工程学院,石家庄 050018
文献出处：
引用格式：
[1]吴珍珍;刘一扬;韩涛;王东霞;翟会丽;闫海鹏-.基于分子动力学的GaN纳米磨削亚表面损伤形成机制)[J].微纳电子技术,2022(12):1368-1374,1382
A类：
纳米磨削
B类：
GaN,低损伤,超精密加工,加工方法,削过,磨削深度,分子动力学模拟,间隙原子,空位缺陷,原子团簇,堆垛,层错,结构相变,六方,闪锌矿,和非晶,结构转变,0nm,磨削力,法向,线长,亚表面损伤层,位错滑移,塑性变形机制,接触区,磨削热,变形程度,氮化镓
AB值：
0.211766
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
