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一种六边形结构的电容式微机械超声换能器性能分析
文献摘要：
为满足超声技术领域对宽频带超声换能器的迫切应用需求,研究了一种新型的六边形结构电容式微机械超声换能器(CMUT).介绍了 CMUT的结构参数与工作原理,采用晶圆键合工艺完成了 CMUT的制备,对CMUT的电容-电压特性、电导特性、电纳特性、相位特性、阻抗特性与接收灵敏度进行了测试.测试结果表明,该六边形CMUT具备发射与接收超声波的能力,谐振频率随直流偏置电压增大而减小,接收灵敏度可达-225.97 dB(频率1MHz),且在频率1～10 MHz内一致性较高,变化量为-2.84 dB,显示出其宽频带特性.该研究可为后续二维六边形结构CMUT阵列的优化设计和性能分析提供有力依据.
文献关键词：
电容式微机械超声换能器(CMUT);电容特性;阻抗特性;接收灵敏度;六边形结构
中图分类号：
作者姓名：
孟亚楠;何常德;党荣;卢小星;张斌珍;张文栋
作者机构：
中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室,太原 030051;中北大学微米纳米技术研究中心,太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]孟亚楠;何常德;党荣;卢小星;张斌珍;张文栋-.一种六边形结构的电容式微机械超声换能器性能分析)[J].微纳电子技术,2022(08):787-794
A类：
B类：
六边形结构,电容式微机械超声换能器,超声技术,技术领域,宽频带,应用需求,CMUT,晶圆键合,电压特性,电导特性,电纳,相位特性,阻抗特性,接收灵敏度,谐振频率,直流偏置电压,dB,1MHz,变化量,电容特性
AB值：
0.226286
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