典型文献
面向微集成的金刚石NV色心与微波天线的一体化
文献摘要：
针对金刚石氮空位(NV)色心量子传感器中微波天线体积大、无法与金刚石紧密接触造成天线与金刚石位置不固定、引起传感器灵敏度低的问题,设计了一种将微波天线集成到金刚石NV色心的一体化方法.采用导电性更强的金薄膜作为天线材料,通过高频结构模拟器(HFSS)仿真软件确定天线尺寸.利用微纳加工工艺和磁控溅射技术在金刚石NV色心表面制作了微波天线,实现了金刚石一体化微波天线.对金刚石一体化微波天线的仿真与实验数据进行对比分析.与传统微波天线相比,设计的天线体积缩小约50％,激发荧光效率和磁场灵敏度分别提升了约20倍和约10 nT/Hz1/2.该方法结合3D打印技术可有望大幅缩小金刚石NV色心量子传感器的体积,对量子器件的微集成化发展具有重要意义.
文献关键词：
量子传感器;微波天线;氮空位(NV)色心;微纳加工工艺;微集成
中图分类号：
作者姓名：
袁华;马宗敏;郑斗斗;王雪敏;柴笑晗
作者机构：
中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室,太原 030051;中北大学仪器与电子学院,太原 030051
文献出处：
引用格式：
[1]袁华;马宗敏;郑斗斗;王雪敏;柴笑晗-.面向微集成的金刚石NV色心与微波天线的一体化)[J].微纳电子技术,2022(02):151-155,168
A类：
小金刚
B类：
微集成,金刚石,NV,色心,微波天线,空位,量子传感器,线体,密接,成天,传感器灵敏度,一体化方法,导电性,金薄膜,线材,结构模拟,模拟器,HFSS,利用微,微纳加工工艺,磁控溅射技术,激发荧光,光效,和约,nT,Hz1,打印技术,量子器件,集成化发展
AB值：
0.23673
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