典型文献
高转移效率时间飞行(TOF)图像传感器的像素单元优化
文献摘要：
针对TOF图像传感器转移效率不高的问题,利用Silvaco软件基于0.18μm CMOS工艺对传感器进行了建模和优化.通过电学和光学仿真,模拟了TOF图像传感器的复位、曝光等工作状态,探讨了曝光强度、曝光时间等对器件量子效率的影响.通过对模型进行防穿通注入工艺优化,很好地实现了钳位光电二极管和浮空节点的隔离.探讨了TOF中PPD的电荷快速转移优化,通过公式计算,获得改进后的优化模型,仿真结果证明其具有良好的转移速度和转移效率,平均转移时间节省近10倍,大大提高了电荷转移效率,为TOF图像传感器的优化和设计提供一个改进思路.
文献关键词：
时间飞行;图像传感器;像素单元;钳位光电二极管
中图分类号：
作者姓名：
吴元庆;王婷;李崎嫚;刘春梅;彭国良
作者机构：
渤海大学 物理科学与技术学院, 辽宁 锦州 121013;西安电子科技大学 微电子学院, 陕西 西安 710071
文献出处：
引用格式：
[1]吴元庆;王婷;李崎嫚;刘春梅;彭国良-.高转移效率时间飞行(TOF)图像传感器的像素单元优化)[J].电子元件与材料,2022(08):810-815
A类：
钳位光电二极管
B类：
时间飞行,TOF,图像传感器,像素单元,效率不高,Silvaco,CMOS,电学,光学仿真,复位,工作状态,光强度,曝光时间,量子效率,穿通,注入工艺,浮空,PPD,公式计算,电荷转移,优化和设计,改进思路
AB值：
0.356984
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