典型文献
基于多轴对准定位平台提升LDI机生产效率的探讨
文献摘要：
为了满足印制电路板分区域基板对位应用需求,提升LDI机生产效率,文章设计了一种应用于LDI机的多轴对准定位平台.多轴对准定位平台包含多组对准定位平台,通过平台控制系统移动对准定位平台到基板对位点,对准测量系统采集多对位点图像信息,使用LDI技术实现图形转移完成基板曝光.从对准时间测试数据分析看,随着基板分区域越多,以及对准定位平台轴数的增多,多轴对准定位平台提升LDI机生产效率越显著.
文献关键词：
激光直接成像;对准测量系统;对准定位平台;运动控制
中图分类号：
作者姓名：
李辉;方林;刘国藩;杨坤伦;侯荣伟
作者机构：
合肥芯碁微电子装备股份有限公司,安徽 合肥 230000
文献出处：
引用格式：
[1]李辉;方林;刘国藩;杨坤伦;侯荣伟-.基于多轴对准定位平台提升LDI机生产效率的探讨)[J].印制电路信息,2022(12):1-6
A类：
对准定位平台,对准测量系统,激光直接成像
B类：
LDI,足印,印制电路板,基板,应用需求,平台控制,图像信息,图形转移,曝光,准时,间测,测试数据分析,运动控制
AB值：
0.184225
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