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基于氮化铝基板的功率负载设计与制备
文献摘要：
采用氮化铝基板进行功率负载制备,可满足微波系统对高散热的要求.本文详细介绍了氮化铝基板微波功率负载的设计、制备过程,比较了制作功率负载厚膜工艺和薄膜工艺的优缺点,并利用厚膜、薄膜相结合工艺制作了性能优良的功率负载产品.研制的氮化铝功率负载在工作频率2GHz以内,耐受功率可达到250W.各项性能指标都达到设计要求,同时分析并给出了各种环境试验条件对产品性能的影响.利用本文的研究,可实现高可靠性高功率高散热性的氮化铝功率负载制备技术.
文献关键词：
氮化铝;厚膜;薄膜;功率负载
中图分类号：
作者姓名：
李丰;王志会;常青松;白锐;史光华
作者机构：
中国电子科技集团公司第十三研究所,河北石家庄,050051
文献出处：
引用格式：
[1]李丰;王志会;常青松;白锐;史光华-.基于氮化铝基板的功率负载设计与制备)[J].电子元器件与信息技术,2022(04):38-41
A类：
B类：
氮化铝,铝基板,功率负载,微波系统,高散热,微波功率,制备过程,作功,厚膜,薄膜工艺,工艺制作,性能优良,工作频率,2GHz,250W,环境试验条件,产品性能,高可靠性,可靠性高,高功率,制备技术
AB值：
0.300123
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