典型文献
真空比对系统高精度转台设计与分析
文献摘要：
利用四连杆衍生机构将丝杠直线运动转换为转台转动,设计了一套丝杠直线驱动的高精度转台.介绍了转台设计参数、结构形式,并根据转台运动方式对关键部件和转台进行简化、自由度复核计算.利用转台系统各组成部件的加工精度和设计精度分析了转台整机的运动精度和重复定位精度,确定了转台整机转动精度和重复定位精度的最低指标.最后根据实际负载、支撑情况利用有限元对转台底板划分网格,完成了转台底板面形变化和应力仿真分析,保证了转台面形和材料的设计要求.结果表明,转台可实现丝杠直线运动转换为转台圆弧运动,整机设计合理可靠,无过定位,可实现转动精度0.0005°、重复定位精度0.005°、负载200 kg的高精度转动.
文献关键词：
转台;设计;分析;高精度
中图分类号：
作者姓名：
王钰玮;王凯;贾瑞栋;叶新
作者机构：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033
文献出处：
引用格式：
[1]王钰玮;王凯;贾瑞栋;叶新-.真空比对系统高精度转台设计与分析)[J].机电工程技术,2022(05):30-33
A类：
B类：
比对系统,转台,设计与分析,四连杆,丝杠,直线运动,转动,套丝,直线驱动,设计参数,结构形式,运动方式,关键部件,复核计算,加工精度,设计精度,精度分析,整机,运动精度,重复定位精度,底板,分网,板面,台面,圆弧,无过,过定位
AB值：
0.35101
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