典型文献
四甲基胍单晶硅片湿法制绒工艺研究
文献摘要:
首次采用有机碱——四甲基胍替代传统的氢氧化钠或氢氧化钾作为制绒刻蚀剂,邻苯二酚和硅酸钠作为制绒添加剂进行单晶硅片制绒,并通过实验对不同四甲基胍浓度、邻苯二酚浓度、反应温度、反应时间对单晶硅片制绒的影响进行了分析.研究结果表明:制绒后单晶硅片表面的金字塔分布密集、大小均匀;在400~1000 n m的波长范围内,单晶硅片的平均反射率为9.16%,比采用传统的碱醇制绒体系制绒时获得的反射率低;同时,该制绒方法还消除了传统制绒刻蚀液中金属离子对单晶硅片的污染.
文献关键词:
四甲基胍;单晶硅片;制绒;反射率
中图分类号:
作者姓名:
赵徐禛;张嘉华;康桥;黄仕华
作者机构:
浙江师范大学物理系,金华 321004;浙江师范大学材料科学与工程系,金华 321004
文献出处:
引用格式:
[1]赵徐禛;张嘉华;康桥;黄仕华-.四甲基胍单晶硅片湿法制绒工艺研究)[J].太阳能,2022(07):68-73
A类:
制绒添加剂,刻蚀液
B类:
四甲基胍,单晶硅片,湿法,有机碱,氢氧化钠,氢氧化钾,邻苯二酚,硅酸钠,反应温度,金字塔,反射率,统制,中金,金属离子,离子对
AB值:
0.137551
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