典型文献
集成电路用电子级多晶硅大规模产业化技术实践
文献摘要：
由于很长时间以来,我国应用的高端电子级多晶硅技术长期被国外等国家垄断,我国电子级多晶硅无论是理论还是产业化发展都与其他国家存在较大差异,严重制约了我国集成电路产业的发展.为此,国内持续依托技术创新等手段突破技术封锁,应用相关创新技术成功构建了5000 t/的电子级多晶硅成套生产体系,并通过新工艺有效填补了我国高端电子级多晶硅方面的空白,达到国际水平.本文基于客户对电子级多晶硅的质量需求进行分析,对目前电子级多晶硅实施技术工艺等级进行阐述,并针对目前实施规模化产业化发展过程面临的技术工艺进行梳理,对制约因素及技术工艺提出一些对应的提升对策和建议.
文献关键词：
集成电路;电子级多晶硅;规模化产业化;关键技术
中图分类号：
作者姓名：
闫科
作者机构：
新特能源股份有限公司,新疆 乌鲁木齐 830011
文献出处：
引用格式：
[1]闫科-.集成电路用电子级多晶硅大规模产业化技术实践)[J].中国战略新兴产业,2022(17):139-142
A类：
电子级多晶硅,多晶硅技术
B类：
路用,产业化技术,技术实践,产业化发展,集成电路产业,突破技术,技术封锁,创新技术,成套,生产体系,新工艺,质量需求,技术工艺,规模化产业化,提升对策,对策和建议
AB值：
0.155063
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