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射频磁控溅射制备硼碳氮薄膜的拉曼光谱研究
文献摘要：
硼碳氮(BCN)三元化合物薄膜具有原子可调组成比,并且能够展现出相应的材料特性,因此在力、热、光、电子学等领域拥有广阔的应用前景.本文采用射频磁控溅射法在硅衬底上通过调节通入的氮气流量,合成了一系列不同组分的BCN薄膜.发现随氮气流量的增加,所制备的BCN薄膜中氮原子浓度最高可达～14at.％.为探讨BCN三元体系中的结构性质变化,利用拉曼光谱系统地研究了不同氮气流量所制备的BCN薄膜.结果表明,随氮的逐渐引入,除常见的拉曼D峰和G峰外,光谱中还出现了N=N的拉伸振动模式.另外,样品的无序度也导致了拉曼光谱发生了整体的变化.
文献关键词：
硼碳氮;薄膜;拉曼光谱
中图分类号：
作者姓名：
刘彩云;李宇婧;高伟;殷红
作者机构：
吉林大学超硬材料国家重点实验室,长春 130012
文献出处：
引用格式：
[1]刘彩云;李宇婧;高伟;殷红-.射频磁控溅射制备硼碳氮薄膜的拉曼光谱研究)[J].光散射学报,2022(01):6-9
A类：
硼碳氮,14at
B类：
射频磁控溅射,拉曼光谱,BCN,材料特性,电子学,磁控溅射法,硅衬底,氮气流量,不同组分,三元体系,结构性质,振动模式
AB值：
0.196148
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