铜铟镓硒(CIGS,Cu(In,Ga)Se2)薄膜太阳能电池转换效率提高的关键,在于CIGS吸收层的元素含量及元素深度分布的有效控制,对元素含量的准确测量是制备和控制工艺中的基础.采用磁控溅射和三步热蒸镀方法模拟制备了Mo/CIGS薄膜,作为铜铟镓硒薄膜太阳能电池材料元素含量测量的样品,开展了电感耦合等离子体发射光谱(ICP-OES)和电感耦合等离子体质谱(ICP-MS)方法准确测定CIGS元素含量的方法研究.结果表明,建立的CIGS前处理方法及ICP-OES、ICP-MS测试方法准确可靠,两种方法测量结果一致,测试方法的相对不确定度在0.8％～1.3％之间,能够实现CIGS样品的准确测量,进而为基于表面分析方法对CIGS的深度剖析提供校正标准,能满足产业中对铜铟镓硒薄膜深度元素剖析的准确计量需求.

铜铟镓硒薄膜;元素含量;电感耦合等离子体发射光谱;电感耦合等离子体质谱;不确定度

中国计量科学研究院,北京100029;北京化工大学,北京100029

[1]王梅玲;王海;任丹华;张艾蕊;王向楠-.铜铟镓硒薄膜元素含量的ICP-OES/ICP-MS分析)[J].计量科学与技术,2022(12):11-15,45

铜铟镓硒薄膜

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