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半导体功率器件测试用脉冲高压源的设计与实现
文献摘要：
为满足功率半导体器件参数测量中对脉冲高压源输出脉冲幅值和宽度的需求,基于Marx发生器原理设计了一脉冲幅值和宽度连续可调的脉冲高压源,用以对功率半导体器件参数的快速测量.该脉冲高压源通过改进Marx发生器基本结构,采用双电源充电模式,减小了脉冲发生器的充电时间;采用同步放电电路,提高了脉冲电压的输出精度;在此基础上,采用快恢复二极管隔离每级Marx电路,降低了充电损耗.通过控制双电源充电电压和放电回路中固态开关导通时间,实现了输出脉冲电压幅值和宽度连续可调.实验结果表明,该脉冲高压源在脉冲幅值0～8000 V和脉冲宽度200～1000μs之间连续可调,上升时间为35 ns,可满足功率半导体器件参数快速测量的需求.
文献关键词：
功率半导体器件;测试;Marx;脉冲高压源
中图分类号：
作者姓名：
高子兴;赵昭;李洁;沙长涛;高峰
作者机构：
中国电子技术标准化研究院,北京100176;山东科技大学,山东青岛266000
文献出处：
引用格式：
[1]高子兴;赵昭;李洁;沙长涛;高峰-.半导体功率器件测试用脉冲高压源的设计与实现)[J].计测技术,2022(04):69-76
A类：
脉冲高压源
B类：
半导体功率器件,器件测试,试用,功率半导体器件,参数测量,出脉冲,脉冲幅值,Marx,原理设计,快速测量,基本结构,双电源,充电模式,脉冲发生器,充电时间,同步放电,脉冲电压,输出精度,快恢复二极管,充电损耗,放电回路,中固,固态开关,开关导通,电压幅值,脉冲宽度,上升时间,ns
AB值：
0.324868
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