典型文献
基于局部保序降维的SVDD故障检测方法
文献摘要：
针对SVDD方法在训练阶段计算量大、训练时间久的问题,提出了基于局部保持投影支持向量数据描述(LPP-SVDD)的故障检测方法.结合LPP处理线性降维和SVDD在异常点检测的优势,使用LPP算法对原始数据进行维数约减,对降维后的数据采用SVDD算法建立监控模型,在最大程度保留数据局部结构特性的同时达到数据维数约减的目的,从而降低SVDD的计算量,缩短建模及检测时间.通过数值例子和半导体工艺过程进行仿真研究,对比LPP、kNN、SVDD、LPP-SVDD方法,验证所提方法的性能.结果证实了LPP-SVDD不仅具有准确的检测能力,而且具有较高的检测效率.
文献关键词：
维数约减;局部保持投影;支持向量数据描述;半导体工艺过程;故障检测
中图分类号：
作者姓名：
谢彦红;薛志强;李元
作者机构：
沈阳化工大学 理学院,辽宁 沈阳110142
文献出处：
引用格式：
[1]谢彦红;薛志强;李元-.基于局部保序降维的SVDD故障检测方法)[J].沈阳化工大学学报,2022(01):60-68
A类：
维数约减,半导体工艺过程
B类：
保序,SVDD,故障检测方法,训练阶段,计算量,训练时间,局部保持投影,支持向量数据描述,LPP,线性降维,异常点检测,原始数据,监控模型,局部结构,结构特性,检测时间,例子,仿真研究,kNN,检测能力,检测效率
AB值：
0.256459
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