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突破三大症结攻克高端传感器
文献摘要：
微机电(MEMS)技术是典型的半导体加工技术,享誉世界的美国"硅谷"几十年来之所以一直守住全球半导体、集成电路应用创新的前沿阵地不动摇,很大程度上就是围绕MEMS工艺技术和应用开展不断的创新和突破. 截至目前,我国是全世界唯一拥有联合国产业分类中所列全部工业门类的国家."唯一"和"全部工业门类"给了我们从制造业大国向制造业强国发展以信心.但是,作为工业"五官"的高端传感器却一直处于"千呼万唤不出来"的尴尬处境.
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[1]-.突破三大症结攻克高端传感器)[J].新材料产业,2022(03):1
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0.471023
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