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石墨烯纳米孔传感器制造与单分子过孔形态检测
文献摘要：
石墨烯是已知最薄的二维材料,其厚度仅为0.335 nm.与传统固态纳米孔相比,石墨烯纳米孔传感器具有极高的检测分辨率.通过MEMS工艺与二维材料湿法转移工艺组合制造出石墨烯薄膜芯片.其中,使用Raman和氦离子显微镜成像判别转移后石墨烯质量.随后,采用氦离子束刻蚀技术在单层石墨烯薄膜上制造出直径为20 nm的石墨烯纳米孔.测量出石墨烯纳米孔传感器电流-电压关系,与经典纳米孔电导理论符合.本论文研究表明单层石墨烯纳米孔传感器检测可检测出牛血清蛋白(Bovine serum albumin,BSA)水平,垂直和旋转三种过孔形态,阻塞电流值分别为1200 pA,150 A,650 pA.同时也辨识出多分子同时过孔信号,BSA分子排列成三角形状穿过石墨烯纳米孔.
文献关键词：
石墨烯;纳米孔传感器;聚焦离子束;BSA分子检测
中图分类号：
作者姓名：
袁志山;戴敏;郑李娟;王成勇
作者机构：
广东工业大学广东省微创手术器械设计与精密制造重点实验室 广州 510006;广东工业大学机电工程学院 广州 510006
文献出处：
引用格式：
[1]袁志山;戴敏;郑李娟;王成勇-.石墨烯纳米孔传感器制造与单分子过孔形态检测)[J].机械工程学报,2022(05):190-197
A类：
纳米孔传感器,固态纳米孔,氦离子显微镜
B类：
单分子,过孔,孔形,形态检测,最薄,二维材料,MEMS,湿法转移,工艺组合,组合制造,石墨烯薄膜,Raman,后石,离子束刻蚀,刻蚀技术,本论,传感器检测,牛血清蛋白,Bovine,serum,albumin,BSA,直和,种过,电流值,pA,排列成,三角形,穿过,聚焦离子束,分子检测
AB值：
0.294756
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