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毫米波波导器件精密制造工艺技术研究综述
文献摘要：
精密制造工艺技术是保证毫米波波导器件性能的关键技术.文中首先定义了波导器件精密制造技术按照制造过程中器件体积变化情况的分类,主要分为减材制造、等材制造和增材制造三大类;然后论述了毫米波波导器件各类工艺技术的应用研究情况,分析了波导器件精密制造的材料选择、结构特点、尺寸精度、加工数量、周期成本等要素,提供了工艺集成设计和实现方案;最后展望了精密制造技术的发展趋势.该综述将为毫米波波导器件精密制造工艺技术的深入研究和工程应用提供有益借鉴.
文献关键词：
毫米波;波导器件;精密制造
中图分类号：
作者姓名：
李敏
作者机构：
中国电子科技集团公司第三十八研究所,安徽合肥230088
文献出处：
引用格式：
[1]李敏-.毫米波波导器件精密制造工艺技术研究综述)[J].电子机械工程,2022(02):1-6
A类：
B类：
毫米波,波波,波导器件,精密制造,制造工艺,工艺技术,器件性能,制造技术,制造过程,体积变化,减材制造,增材制造,研究情况,材料选择,尺寸精度,工艺集成,集成设计,设计和实现,实现方案
AB值：
0.243353
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