典型文献
高纯液氯的纯化技术
文献摘要：
随着微电子、新型半导体材料和大规模集成电路技术的快速发展,对高纯液氯的质量要求不断提高,要求其具有更低的杂质含量,因此高纯液氯的纯化技术受到广泛关注.本文介绍了高纯液氯的基本性质和应用领域,概述了国内外高纯液氯的研制、纯化以及去除其中特定杂质的方法.展望了高纯液氯纯化技术的发展,高纯氯气作为重要的电子气体将发挥重要的作用,对该产品进行产业化生产十分必要.
文献关键词：
高纯液氯;纯化技术;吸附;精馏;大规模集成电路
中图分类号：
作者姓名：
赵菁
作者机构：
洛阳佳蓝环保科技有限公司, 河南 洛阳 471000
文献出处：
引用格式：
[1]赵菁-.高纯液氯的纯化技术)[J].广州化工,2022(08):37-39
A类：
高纯液氯
B类：
纯化技术,微电子,半导体材料,大规模集成电路,质量要求,杂质含量,基本性质,氯气,电子气体,产业化生产,精馏
AB值：
0.182994
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
