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三氟甲烷的合成与高纯三氟甲烷的提纯工艺研究进展
文献摘要：
高纯三氟甲烷(CHF3)的合成与提纯研究对微电子行业的发展意义深远.本文介绍了CHF3的合成方法,如电解法、氯仿直接氟化法、氯仿催化氟化法、二氟一氯甲烷催化氟化法、二氟一氯甲烷催化歧化法等,并分析了各方法的优缺点;综述了高纯CHF3的提纯方法,包括精馏法、溶剂吸收法、吸附法等,单纯一种提纯方法很难使CHF3产品达到电子级标准,通过多种提纯方法的联用可制备符合要求的高纯CHF3.本文通过对CHF3的合成方法和高纯CHF3的提纯工艺进行分类分析,对高纯CHF3的生产提供参考,具有一定的实用价值和指导意义.
文献关键词：
三氟甲烷;高纯;合成;提纯
中图分类号：
作者姓名：
张旭雪;赵文英;袁亚文;曹晓荣;项曙光
作者机构：
齐鲁师范学院化学与化工学院,山东济南 250200;青岛科技大学化工学院,山东青岛 266011
文献出处：
引用格式：
[1]张旭雪;赵文英;袁亚文;曹晓荣;项曙光-.三氟甲烷的合成与高纯三氟甲烷的提纯工艺研究进展)[J].山东化工,2022(17):72-76,82
A类：
直接氟化
B类：
三氟甲烷,高纯,提纯工艺,CHF3,微电子,电子行业,发展意义,合成方法,电解法,氯仿,氟化法,二氟一氯甲烷,提纯方法,精馏法,吸收法,吸附法,纯一,品达,电子级,符合要求,分类分析
AB值：
0.28838
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